碳化硅是如何制造的
2022-09-14
简单的碳化硅制造方法是在2500摄氏度的高温下熔化硅砂和碳,比如煤。碳化硅的颜色更深、更常见的版本通常包括铁和碳杂质,但纯碳化硅晶体是无色的,当碳化硅在2700摄氏度升华时才会形成。一旦加热,这些晶体在较低的温度下沉积在石墨上,这一过程被称为Lely方法。
Lely方法:在这一过程中,花岗岩坩埚加热到非常高的温度,通常通过感应,升华碳化硅粉末。一个温度较低的石墨棒悬浮在气体混合物中,这本质上允许纯碳化硅沉积并形成晶体。
化学气相沉积:使用化学气相沉积生长立方碳化硅,这通常用于碳基合成工艺和半导体工业。在这种方法中,一种特殊的化学混合气体进入真空环境,在沉积到基材上之前进行混合。
Lely方法:在这一过程中,花岗岩坩埚加热到非常高的温度,通常通过感应,升华碳化硅粉末。一个温度较低的石墨棒悬浮在气体混合物中,这本质上允许纯碳化硅沉积并形成晶体。
化学气相沉积:使用化学气相沉积生长立方碳化硅,这通常用于碳基合成工艺和半导体工业。在这种方法中,一种特殊的化学混合气体进入真空环境,在沉积到基材上之前进行混合。